نام کتاب: Fabrication Engineering At The Micro And Nanoscale
نویسنده: Stephen A. Campbell
ویرایش: ۳
سال انتشار: ۲۰۰۷
کد ISBN کتاب: ۰۱۹۵۳۲۰۱۷۴, ۹۷۸۰۱۹۵۳۲۰۱۷۶,
فرمت: PDF
تعداد صفحه: ۶۷۲
انتشارات: Oxford University Press, Usa
Description About Book Fabrication Engineering At The Micro And Nanoscale From Amazon
Designed for advanced undergraduate or first-year graduate courses in semiconductor or microelectronic fabrication, the third edition of Fabrication Engineering at the Micro and Nanoscale provides a thorough and accessible introduction to all fields of micro and nano fabrication. Completely revised and updated, the text covers the entire basic unit processes used to fabricate integrated circuits and other devices. It includes more worked examples, illustrations, and expands coverage of the frontiers of fabrication processes.
The physics and chemistry of each process are introduced along with descriptions of the equipment used to carry out the processes. The text uses a popular commercial process simulation suite–the Silvaco Athena® set of codes–to provide meaningful examples of many of the basic processes including diffusion, oxidation, lithography, and deposition.
The book goes on to discuss the integration of these basic unit processes into various technologies, concentrating on CMOS transistors. The text breaks down the material into treatments on the concepts of process modules, thermal budget, advanced architectures, and the use of channel strain for improved performance
درباره کتاب Fabrication Engineering At The Micro And Nanoscale ترجمه شده از گوگل
طراحی شده برای مقطع کارشناسی و یا سال اول پیشرفته دوره های تحصیلات تکمیلی در نیمه هادی یا ساخت میکرو الکترونیک، نسخه سوم از ساخت مهندسی در میکرو و نانو یک مقدمه کامل و قابل دسترس به تمام زمینه های ساخت میکرو و نانو فراهم می کند. به طور کامل تجدید نظر شده و به روز شده، متن کل فرایندهای واحد اساسی مورد استفاده برای ساخت مدارهای یکپارچه و دستگاه های دیگر را پوشش می دهد. این شامل نمونه های بیشتری کار، تصاویر، و پوشش گسترده تری از مرزهای از مراحل ساخت.
فیزیک و شیمی از هر فرآیند همراه با توصیف از تجهیزات مورد استفاده برای انجام فرآیندهای معرفی شده است. متن با استفاده از یک مجموعه شبیه سازی فرایند تجاری محبوب – مجموعه Silvaco Athena® از کدهای – به ارائه نمونه معنی دار از بسیاری از فرایند های اساسی از جمله انتشار، اکسیداسیون، لیتوگرافی و رسوب.
این کتاب در ادامه به بحث ادغام این فرآیندها واحد پایه به فن آوری های مختلف، تمرکز بر روی ترانزیستورهای CMOS. معافیت متن پایین مواد به درمان بر مفاهیم ماژول روند، بودجه حرارتی، معماری پیشرفته، و استفاده از فشار کانال برای بهبود عملکرد
[box type=”info”]
جهت دسترسی به توضیحات این کتاب در Amazon اینجا کلیک کنید.
در صورت خراب بودن لینک کتاب، در قسمت نظرات همین مطلب گزارش دهید.
با خرید اشتراک، بدون محدودیت، کتاب دانلود کن!
